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-135℃水汽捕集泵
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- 简介：-135 ℃ 水汽捕集泵，超低温捕集泵，深冷泵，快速循环水汽冷冻机POLYCOLD -135℃Water vapor cryopump 应用原理 : 在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而...
询价/订购热线：400-098-6966 0371-60153588
-135℃水汽捕集泵，超低温捕集泵，深冷泵，快速循环水汽冷冻机POLYCOLD
-135℃ Water vapor cryopump
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上+选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
|
型号
|
TH-135-3P
|
TH-135-5P
|
TH-135-7P
|
TH-135-10P
|
TH-135-12P
|
TH-135-15P
|
|
压缩机功率(KW)
|
2.8
|
4.6
|
6.3
|
8.5
|
10.1
|
12.3
|
|
工作温度（℃）
|
-100℃至-140℃
|
|||||
|
抽气速度（l/s）
|
30600
|
51000
|
73000
|
101000
|
153000
|
250000
|
|
制冷量（W）
|
300
|
500
|
1200
|
1800
|
2500
|
3500
|
|
冷凝管表面积(m2)
|
0.15
|
0.3
|
0.5
|
0.7
|
1.0
|
2. 0
|
|
冷凝管长度
|
8m,φ6mm
|
10m,φ10mm
|
12m,φ12mm
|
14m,φ16mm
|
24m,φ16mm
|
40m,φ16mm
|
|
预冷时间（min）
|
≤30
|
≤30
|
≤30
|
≤30
|
≤40
|
≤40
|
|
降温时间（min）
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤6
|
≤7
|
|
除霜时间(min)
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
≤3
|
|
再降温时间(min)
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤5
|
≤6
|
≤6
|
|
适用油扩散泵径（mm）
|
≤300
|
≤500
|
≤800
|
≤1000
|
双路输出
|
双路输出
|
|
冷却方式
|
风冷、水冷(t≤30℃)
|
水冷(t≤30℃)
|
水冷(t≤30℃)
|
水冷(t≤30℃)
|
水冷(t≤30℃)
|
|
|
适用腔体直径（mm）
|
≤900
|
≤1300
|
≤1500
|
≤1700
|
≤2000
|
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